Particle-in-Cell法(PIC法)によるプラズマシミュレーション
Particle-PLUSは非平衡プラズマの数値解析に優れたシミュレーションソフトウェアです。特に、希薄気体中（低圧下）や壁近傍でのプラズマ現象の解析を得意としております*。
これまでに国内外問わず多くの企業様と大学様への導入実績があり、 皆様から多くのご好評のお声をいただいております。
本製品はウェーブフロントが独自に開発しているソフトウェアです。 具体的な計算機能はソフトウェア詳細ページにてご紹介します。
* ガス密度が数百Paを超える状態でのプラズマ解析をご検討されている場合は、 VizGlowをご覧ください。 大気圧プラズマ解析（アークプラズマ解析）をご検討されている場合は、 VizSparkをご覧ください。 また、プラズマではなく真空装置のガス流れ解析をご検討されている場合は、 DSMC-Neutralsをご覧ください。 その他に、深層学習を用いた代理モデル解析ツールとして、 Particle-PLUS/DLを取り扱っております。
図：マグネトロンプラズマ（左）やCCP（右）での電子密度分布の時間変化。Particle-PLUSでは、他にも様々なモデルでプラズマの挙動を解析できます。
プラズマプロセスは薄膜作成という集積回路の製造工程において避けては通れない産業技術として広く活用されてきました。その一方で、装置の内部で何が起きているのかを測定することは難しく、技術者の勘や経験に頼っていたことも事実です。
人類の持つ技術により装置の状態を何とかして知り、ものづくりに活かせないのか。 Particle-PLUSはITの力でそのような困難に立ち向かうツールとして開発され、 時代のニーズを徐々に取り込みながら今なお洗練され使われ続けているソフトウェアです。
そして目まぐるしく新しい技術が生まれる現代において、 Particle-PLUS開発チームは、 これまでは難しく考えられ敬遠されがちであったプラズマシミュレーションをより広く活用していただきたいと考えております。
高度な専門知識を有する熟練のエンジニアのみならず、 製造現場の最前線に立つエンジニアの皆様にも気軽に使っていただけるようなソフトウェアを目指しております。
Particle-PLUSでできること What Particle-PLUS can do
Particle-PLUSでは、マグネトロンスパッタリング、CCP、ICP、プラズマCVD、プラズマエッチング、 荷電粒子ビーム、電気泳動などのプロセスにおけるプラズマの挙動を解析して、 電子分布、イオン分布、電流分布、エネルギー分布などを計算できます。
また、プラズマ計算だけでなく、基板上の成膜レート、磁石配置に対する磁場強度、固体温度の計算など の計算機能も備わっています。 適用事例が計算されている事例集ページも是非ご覧ください。
充実のサービス内容 Service
Particle-PLUS開発チームは製造業の皆様に寄り添い全力でものづくりを応援させていただきます。 お困りの声に対する安心のサポートやソフトウェア利用講習会、 お客様からの要望をお聞きして機能を追加するカスタム開発などのサービスを提供させていただいております。 また、ソフトウェアのご購入だけではなく、受託解析も承っております。 ご提供可能な内容につきましてはサービス紹介ページをご覧ください。
株式会社ウェーブフロント
営業部
メール：sales@wavefront.co.jp
TEL：045-682-7070