プラズマによるDLCコーティング

計算概要　 -Computation Summary-

Particle-PLUSではプラズマCVDの解析が可能であり、DLC（ダイヤモンドライクカーボン）の成膜パラメータを評価することが可能です。ここでは例として、メタンガスをプラズマ化させて得られるイオンやラジカルの分布を解析しています。

項目・・・

a.『モデル概要』

b.『電位分布と

　　　　　　セルフバイアス効果』

c.『粒子数密度 (周期平均) 』

d.『複次反応と生成イオンの分布』

e.『凹んだ形状の底における

　　　　　　　　　　表面流束』

f.『イオンエネルギーの表面流束』

ギャラリー　 -gallery-

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電子数密度

CH4coating_dens_ele.mp4

MP4動画/オーディオファイル 6.9 MB

電位

CH4coating_phi.mp4

MP4動画/オーディオファイル 6.7 MB