CCP装置の3次元解析

計算概要　 -Computation Summary-

代表的なプロセス装置のひとつである、CCP（容量結合プラズマ）装置に関するプラズマ解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、高速にシミュレーションを行うことができます。

▣容量結合プラズマ（CCP）の3次元解析

項目・・・

a.『モデル概要』

b.『電位』

c.『粒子数密度』

d.『エネルギー分布』

e.『電極上の粒子流束』

ギャラリー　 -gallery-

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