深層学習による代理モデルを用いたプラズマ解析『Particle-PLUS/DL』 のウェブサイトが開設されました！

Particle-PLUS/DL はプラズマ解析のためのアプリケーションであり、 深層学習による代理モデルを用いてマグネトロンプラズマ、容量結合プラズマ(CCP)、誘導結合プラズマ(ICP) 等の様々なプラズマをシミュレートします。 高速なシミュレーションはパラメトリックスタディを可能にし、成膜プロセスやエッチングプロセスの最適化を支援します。

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